Vaakumkate pikendab kulumaterjali eluiga pooljuhtide tööstuses ja vähendab kambri seisakuaega.Kattematerjalid ulatuvad sulatatud ränidioksiidist ütriumoksiidiga stabiliseeritud tsirkooniumoksiidini ning katted on optiliselt selged ja keemiliselt inertsed.Kõik see tähendab hooldustsüklite sünkroonimise tõttu madalamaid omamiskulusid.
Postitusaeg: 16. juuni 2022